3 激光微制造將成為新世紀(jì)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的主流技術(shù)
諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)獲得者Richard　Feynman早在50年代末就曾預(yù)言，制造技術(shù)將沿著從大到小的途徑發(fā)展，即用大機(jī)器制造出小機(jī)器，用這種小機(jī)器又能制造出更小的機(jī)器，并由此在微小尺度領(lǐng)域制造出一代代的批量加工工具�？茖W(xué)技術(shù)的革命證實(shí)了Feynman的預(yù)言。微電子技術(shù)的出現(xiàn)就是最有說(shuō)服力的例子，從集成到大規(guī)模集成到超大規(guī)模集成技術(shù)的迅猛發(fā)展中，已經(jīng)顯示出未來(lái)的制造技術(shù)必將沿著“越來(lái)越小”的方向進(jìn)軍。20世紀(jì)把電子技術(shù)的主要功能高度集成在一起，形成了世紀(jì)標(biāo)志的高技術(shù)產(chǎn)業(yè)，并滲透到人類活動(dòng)的各個(gè)領(lǐng)域。21世紀(jì)則是多門學(xué)科的集成技術(shù)，即把微電子、微光學(xué)、微機(jī)械以及傳感器、執(zhí)行器的信號(hào)處理單元集成在一起的微納制造和微系統(tǒng)技術(shù)。微納制造技術(shù)與功能微系統(tǒng)將成為21世紀(jì)高新技術(shù)與產(chǎn)業(yè)的里程碑，其發(fā)展將使人類在認(rèn)識(shí)和改造自然的能力上達(dá)到一個(gè)新的高度，導(dǎo)致人類生活和社會(huì)物質(zhì)文明及科學(xué)技術(shù)的巨大變革。
美國(guó)在80年代末就意識(shí)到微納制造技術(shù)與微系統(tǒng)研究的緊迫性，強(qiáng)調(diào)美國(guó)“應(yīng)該在這樣一個(gè)新的重要技術(shù)領(lǐng)域與其他國(guó)家的競(jìng)爭(zhēng)中走在前面”，并啟動(dòng)了第一個(gè)研究計(jì)劃。進(jìn)入90年代后，日本也開(kāi)始實(shí)施為期10年、總投資為250億日元的“微型機(jī)械技術(shù)”大型研究開(kāi)發(fā)計(jì)劃。為尋求適應(yīng)微系統(tǒng)制造的三維結(jié)構(gòu)精細(xì)微加工的技術(shù)途徑，歐共體組織了德國(guó)漢諾威激光中心和法國(guó)、瑞士、意大利等國(guó)的相關(guān)科研機(jī)構(gòu)，進(jìn)行合作開(kāi)發(fā)研究。目前在微納制造技術(shù)上已經(jīng)形成國(guó)際性競(jìng)爭(zhēng)，已經(jīng)開(kāi)始新世紀(jì)高技術(shù)產(chǎn)業(yè)全球市場(chǎng)的爭(zhēng)奪戰(zhàn)。
目前的研究進(jìn)展也已經(jīng)顯示，激光微技術(shù)是有發(fā)展?jié)摿Φ娜�維微制造技術(shù)，將可能成為微系統(tǒng)制造的主流技術(shù)之一。德國(guó)國(guó)家教研部從2002年開(kāi)始，出臺(tái)了為期五年的光學(xué)資助計(jì)劃，其中重要的一項(xiàng)內(nèi)容就是激光微制造技術(shù)的研究。該計(jì)劃僅2002年的資金投入就是0.478億歐元，后續(xù)幾年的投入按一定比例遞增。德國(guó)采取分解式的單元技術(shù)研究，在光的微制造與微納技術(shù)的硬件方面，五年研究規(guī)劃的目標(biāo)定位在新的激光光源和超精細(xì)聚焦系統(tǒng)上，達(dá)到150～0.1nm光譜范圍的超紫外輸出和能越過(guò)衍射極限、分辨率小于100nm的高重復(fù)性近場(chǎng)透鏡。
微納光制造及其相關(guān)技術(shù)，是當(dāng)前國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)的主要領(lǐng)域，微電子產(chǎn)業(yè)的規(guī)模和技術(shù)水平已成為衡量一個(gè)國(guó)家綜合實(shí)力的重要標(biāo)志之一，激光微技術(shù)將在這個(gè)領(lǐng)域發(fā)揮更大作用。我國(guó)在現(xiàn)代光制造發(fā)展方面，機(jī)遇與挑戰(zhàn)并存，我們要抓住機(jī)遇，迎接新世紀(jì)光制造時(shí)代的到來(lái)。