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  • 半導(dǎo)體激光光幕的平行性和均勻性研究

    作者:韓樂一 來源:網(wǎng)絡(luò) 時間:2012-09-20 18:40 閱讀:2770 [投稿]
    文中以紅光點狀光斑半導(dǎo)體激光器作為發(fā)射光源,通過鮑威爾棱鏡和菲涅爾透鏡等光學(xué)系統(tǒng)的組合,實現(xiàn)了出射光幕的均勻性和平行性。所形成的均勻平行光幕不但可以提高測量精度,而且可以對光幕進行拼結(jié),實現(xiàn)超大光幕的形成。

    2.設(shè)計方案及測試結(jié)果 

    結(jié)合鮑威爾棱鏡和菲涅爾透鏡的工作原理,設(shè)計整套光學(xué)系統(tǒng),如圖3。


    首先選取了波長為650nm的紅光橢圓光斑和圓光斑激光器進行測試,實驗中未加入光闌,利用光功率計在光學(xué)實驗平臺上進行分組測試。實驗中每平移5mm進行一次功率測試,每組共測400個數(shù)據(jù)。最后用origion軟件進行處理,光強分布圖如圖4、圖5。


    從圖中可以看出,圓光斑的光強分布要均勻很多,通過計算得到圓光斑比橢圓光斑激光器的均勻度要好約46%。這主要是由于橢圓光斑激光器的光斑直徑大,且不均勻,而圓光斑的直徑小,且光束分布比較集中,準(zhǔn)直性較好。為了進一步提高均勻性,選擇在光束打到鮑威爾棱鏡前加光闌,對光束直徑再進行限制。光強分布圖如圖6。


    3.結(jié)束語 

    從實驗結(jié)果可以看出:點光斑激光器的光束通過該系統(tǒng)可以達到300mm左右寬的均勻平行光幕。該系統(tǒng)可以用來減小線性激光器高斯分布帶來的不均勻性誤差,提高了精度。由于點光斑激光器的準(zhǔn)直性和菲涅爾透鏡鋸齒的間距、深淺等加工工藝的影響,產(chǎn)生了兩端光強分布較強的部分,從而降低了光的利用率,這是今后設(shè)計時仍需要進一步研究的地方。

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