在多數(shù)情況下，光學(xué)測(cè)頭與被測(cè)物體沒(méi)有機(jī)械接觸。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)采用非接觸光學(xué)測(cè)頭測(cè)量工件，有如下突出優(yōu)點(diǎn)： 

1.沒(méi)有測(cè)量力，可以用于測(cè)各種柔軟和易變形的物體，也沒(méi)有摩擦； 

2.由于不接觸，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)可以很快的速度對(duì)物體進(jìn)行掃描測(cè)量，測(cè)量速度與采樣頻率都較高； 

3.光斑可以做的很小，可以探測(cè)一般機(jī)械測(cè)頭難以探測(cè)的部位，也不必進(jìn)行測(cè)端半徑補(bǔ)償； 

4.不少光學(xué)測(cè)頭具有大的量程，如十毫米乃至數(shù)十毫米，這是一般接觸測(cè)頭難以達(dá)到的； 

5.同時(shí)探測(cè)的信息豐富； 

用光學(xué)測(cè)頭測(cè)量物體，并不是測(cè)量物體本身的幾何形狀，而是所“ 看”到的物體的光學(xué)反差結(jié)構(gòu)。除物體的尺寸特性外，物體的輻射特性對(duì)測(cè)量結(jié)果也有較大影響。有一系列因素，如照明情況、表面狀態(tài)反射情況、陰影、擋光、對(duì)譜線吸收情況等，都會(huì)引入附加誤差。從而光學(xué)測(cè)頭不能簡(jiǎn)單地以測(cè)量不確定度或最大允許誤差來(lái)表征，而要在非常確定的工作條件下，來(lái)討論測(cè)量不確定度。