TOR有兩種工作方式：1）反靈敏度模式Inverse Mode：為缺省模式，它計(jì)算公差值，每一個(gè)公差對(duì)系統(tǒng)造成的影響大致相當(dāng)，公差范圍不會(huì)違背用戶定義的公差極限，在此種模式進(jìn)行中，每個(gè)公差值不能被改變。2）靈敏度模式Sensitivity Mode：計(jì)算特定公差對(duì)系統(tǒng)的影響。 

3.TOR的工作過(guò)程

下面用一個(gè)簡(jiǎn)單的例子（F/5，焦距100，一片，如圖1）說(shuō)明一下TOR到底對(duì)系統(tǒng)產(chǎn)生了何種影響。設(shè)計(jì)結(jié)果為光學(xué)零件第一面半徑為50mm，厚度為5mm，RMS波像差為0.4377waves, 

 圖1.例子光路圖

我們將改變第一面半徑和厚度來(lái)觀察RMS波像差的變化，我們計(jì)算允許RMS波像差增加0.01waves時(shí)所需的公差。（在這里我們用命令的形式來(lái)進(jìn)行以簡(jiǎn)化過(guò)程）

第一步，我們指定第一面半徑和厚度的公差，DLR S1；DLT S1，注意在這里可以輸入你指定的公差值，否則為公差的缺省值； 第二步，計(jì)算公差，TOR；ROU N；INV 0.01；GO，這里沒(méi)有選擇公差控制的Rounding按扭的原因?yàn)楦�好地理解TOR的含義，在實(shí)際運(yùn)用中，應(yīng)選擇此項(xiàng)，以模擬實(shí)際多次加工的循環(huán)過(guò)程。輸出結(jié)果如圖2：

 

圖2.公差分析第一次結(jié)果

由結(jié)果可以看出：半徑公差為公差范圍的極小值的原因?yàn)楫?dāng)半徑改變0.02時(shí)，RMS波像差改變量已經(jīng)超過(guò)0.01waves，而TOR不改變系統(tǒng)的公差極限，當(dāng)然公差極限可以由我們用戶來(lái)設(shè)置或改變，計(jì)算結(jié)果還表明我們將厚度改變?yōu)?.040806mm時(shí)，RMS波像差將增加0.01waves。

現(xiàn)在我們將后截距的變化（Defucus）作為系統(tǒng)的調(diào)整量，調(diào)整量為0.5mm再一次進(jìn)行公差分析，CMP DLZ SI；TOR；INV 0.01；ROU N；GO，輸出結(jié)果如圖3：

 

圖3 Defocus為0.5mm時(shí)的結(jié)果