消除平場掃描鏡F-Theta后反射點(diǎn)的不利影響
激光掃描系統(tǒng)是一種將時(shí)間信息轉(zhuǎn)變?yōu)榭捎涗浛諉栃畔⒌南到y(tǒng)。它使某種信息通過光調(diào)制器對激光束調(diào)制后，經(jīng)光束掃描器和F-Theta激光聚焦鏡頭再接收形成一維或二維掃描圖像。
 為滿足式（1-1）的線性掃描關(guān)系，同時(shí)校正F-Theta鏡頭的像差，往往需要多個(gè)透鏡合理布局；激光在透鏡表面的后反射點(diǎn)（圖3-圖6）能量高度集中，隨著工業(yè)使用中激光功率的不斷提升，如果后反射點(diǎn)聚焦在XY振鏡片上，會(huì)燒蝕振鏡片的反射膜層，造成系統(tǒng)透過率的大幅降低；如果后反射點(diǎn)聚焦在掃描鏡內(nèi)部鏡片上（圖6），造成明顯的熱透鏡效應(yīng)，該透鏡折射率隨著能量的積聚發(fā)生變化，直接改變掃描鏡的工作距離，反映為標(biāo)記光斑變大、標(biāo)記顏色變淺甚至無法標(biāo)記。  圖3.后反射點(diǎn)示意1  圖4.后反射點(diǎn)示意2 |
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