幾何圖像分析(Geometric Image Analysis)

只限于對低分辨率的.IMA和.bim格式的位圖進(jìn)行幾何計(jì)算（不考慮衍射效應(yīng)）。該功能可以計(jì)算任意面上的圖像，相比之下基于卷積計(jì)算的圖像模擬功能只能在像面上計(jì)算。同樣，由于幾何圖像分析基于光線追跡，該功能可以用于計(jì)算系統(tǒng)效率以及多模光纖耦合。在評價函數(shù)編輯器中使用操作數(shù)IMAE可以將系統(tǒng)效率作為目標(biāo)進(jìn)行優(yōu)化。

幾何位圖圖像分析(Geometric Bitmap Image Analysis)

由于可以將.bmp和.jpg格式的圖片作為光源位圖經(jīng)光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行成像，因此和圖像模擬比較相近。通常來講，圖像模擬得到高信噪比的結(jié)果要比幾何位圖圖像分析的速度快很多。對于幾何位圖圖像分析來說，圖像信噪比與SQRT(n)成正比，其中n為每個像素追跡光線的條數(shù)。

圖像模擬分析欠采樣的PSF時存在一定誤差。當(dāng)PSF嚴(yán)重欠采樣時，PSF網(wǎng)格上每個點(diǎn)都看起來像一個δ函數(shù)，這意味著基于卷積的方法計(jì)算得到的結(jié)果在這種欠采樣情況下會比實(shí)際情況好。幾何位圖圖像分析則可作為非常實(shí)用的檢查方法對分析結(jié)果進(jìn)行復(fù)查。而且?guī)缀挝粓D圖像分析可以應(yīng)用于任意一個面上，例如遠(yuǎn)離焦平面的地方。

部分相干圖像分析(Partially Coherent Image Analysis)

在早期的版本中名為衍射成像分析。如果使用衍射極限系統(tǒng)對非相干的位圖進(jìn)行成像，則圖像模擬功能要好于該功能。然而部分相干圖像分析功能可以分析相干光源。在實(shí)際應(yīng)用中，相干光源分析對于光刻機(jī)系統(tǒng)非常重要。

擴(kuò)展圖像分析(Extended Diffraction Image Analysis)

在非相干光源時該功能可以完全由圖像模擬代替。但擴(kuò)展圖像分析允許擴(kuò)展光源進(jìn)行相干成像，并且允許光源位圖中的每個像素代表一個δ函數(shù)。該功能非常適合用于擴(kuò)展光源圖像包含點(diǎn)光源的情況（例如星星）。