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  • 如何設(shè)計(jì)增透膜?

    作者:時(shí)生 來源:中科院半導(dǎo)體所 時(shí)間:2023-02-27 12:14 閱讀:7968 [投稿]
    設(shè)計(jì)光學(xué)薄膜主要是確定兩點(diǎn):一點(diǎn)是選擇薄膜的厚度,另一點(diǎn)是選擇折射率匹配的材料。

    這張圖中有兩條曲線,藍(lán)線是消光系數(shù),紅線是折射率。這是因?yàn)椴牧系墓鈱W(xué)性質(zhì)單獨(dú)用一個(gè)折射率n來表示是不夠的。介質(zhì)可以吸收一部分入射的光線,用消光系數(shù)k來表征介質(zhì)對(duì)某一波長(zhǎng)的光的吸收強(qiáng)度的大小。這個(gè)參數(shù)定義了光穿過物體時(shí),每經(jīng)過單位長(zhǎng)度時(shí)能量被吸收的比例。

    引入復(fù)數(shù)有明確的物理意義。也可以使計(jì)算簡(jiǎn)化,用一個(gè)參數(shù)就可以完全描述介質(zhì)的全部光學(xué)性能,這就是復(fù)折射率:


    其中k是介質(zhì)的吸收系數(shù)。


    電磁波是電場(chǎng)與磁場(chǎng)同相震蕩且互相垂直的電場(chǎng)和磁場(chǎng)在空間中以波動(dòng)的形式傳播的電磁場(chǎng),因此要計(jì)算反射光與入射光的強(qiáng)度,需要從計(jì)算入射電場(chǎng)與反射電場(chǎng)強(qiáng)度的比值入手。上圖表示了兩層介質(zhì)內(nèi)光線的折射和反射過程,N0表示上層的折射率,N1表示下層的折射率。菲涅爾方程指出:

    振幅反射系數(shù)(菲涅爾反射系數(shù))  r=Er/Ei

    振幅透射系數(shù)(菲涅爾透射系數(shù))  t=Et/Ei

    下標(biāo)t表示透射分量,下標(biāo)r表示反射分量,下標(biāo)i表示入射光。定義反射率R是反射光強(qiáng)度的垂直分量與入射光強(qiáng)度的垂直分量之比;透射率T是透射光強(qiáng)度的垂直分量與入射光強(qiáng)度的垂直分量之比。


    這里η為有效光學(xué)導(dǎo)納,定義為磁場(chǎng)強(qiáng)度的切向分量與電場(chǎng)強(qiáng)度的切向分量之比,對(duì)于s偏振和p偏振值不同:


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