本文設(shè)計(jì)的復(fù)眼透鏡組由 ３片柱面復(fù)眼構(gòu)成，六個(gè)表面S1、S2、S3、S4、S5、S6均為工作表面，如圖２所示，S1、S2為Y向柱面復(fù)眼，實(shí)現(xiàn) Ｙ方向上的均勻照明。S3、S4、S5為X向柱面復(fù)眼，完成X方向上的均勻照明。S6為Y向柱面復(fù)眼負(fù)責(zé)將光束沿Y方向彌散，與S1、S2一起形成Y向的平頂高斯能量分布。

圖2. 復(fù)眼透鏡結(jié)構(gòu)示意圖

圖3. 復(fù)眼透鏡的公差分析的光路圖

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5 結(jié)論

根據(jù)復(fù)眼透鏡的設(shè)計(jì)要求，采用3片柱面鏡設(shè)計(jì)的復(fù)眼透鏡組，分別實(shí)現(xiàn)了 X、Y方向上的均勻照明。對影響光刻照明均勻性的誤差源進(jìn)行詳細(xì)分析，給出了復(fù)眼透鏡的公差分析的光路圖。前組復(fù)眼透鏡經(jīng)復(fù)眼光組、聚光鏡和耦合成像后，在掩模上形成均勻照明，當(dāng)畸變每變化0.1％，照明均勻性約變化0.4％。因此復(fù)眼透鏡組的誤差源分析時(shí)，主要分析復(fù)眼光組透鏡單元之間的發(fā)生相對位置誤差和面形誤差，對各個(gè)視場畸變的變化，計(jì)算出照明均勻性的變化量。結(jié)合復(fù)眼透鏡組的設(shè)計(jì)方案和實(shí)際加工能力，給出復(fù)眼透鏡組具體的公差要求。采用CODEV軟件對浸沒式光刻照明系統(tǒng)的均勻性進(jìn)行仿真，仿真結(jié)果表明在傳統(tǒng)照明和離軸照明模式下，Y方向能量分布均優(yōu)于99.5%，驗(yàn)證了制定公差合理、可行。

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