三坐標(biāo)測量儀原理：三次元量測儀可定義為：一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導(dǎo)軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳送訊號，三個軸之位移量測系統(tǒng)如光學(xué)尺.經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計算機等計算出工件的各點坐標(biāo)x,y,z.及各項功能量測的儀器。
其工作原理是利用光柵繞射所制成的量測系統(tǒng)俗稱光學(xué)尺，其光源經(jīng)過瞄準(zhǔn)透鏡而投射到游動刻度尺和主刻度尺，藉其光波產(chǎn)生moire條紋明暗訊號之原理，由光電管接收其信號，經(jīng)放大及修正后即可顯示出來，其系統(tǒng)及輸出信號情形。 
操作：
1.量測前準(zhǔn)備：
a.檢查空氣軸承壓力是否足夠 
b.安裝工件
2.測頭選擇及安裝：
a.將適當(dāng)之測頭裝于z軸承接器 
b.檢視z軸是否會自動滑落否則應(yīng)調(diào)整紅色壓力平衡調(diào)整閥. 
c.鎖定各軸之適當(dāng)位置
3.量測操作：
a.開啟處理機電源 
b.啟開打印機開關(guān) 
c.參考操作手冊，選擇所需功能之指令 
d.進行量測，并讀出量測值
4.完成后注意事項：
a.z軸移至原來位置后，鎖定 
b.x,y軸各移至中央，鎖定 
c.關(guān)電源及壓力閥 
d.取下測頭 
e.并作適當(dāng)?shù)谋ｐB(yǎng)