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  • led外延片介紹與辨別方法

    作者:佚名 來源:本站整理 時(shí)間:2011-09-15 10:42 閱讀:917 [投稿]
      led外延片的生產(chǎn)制作過程是非常復(fù)雜,展完外延片,接下來就在每張外延片隨意抽取九點(diǎn)做測(cè)試,符合要求的就是良品,其它為不良品(電壓偏差很大,波長(zhǎng)偏短或偏長(zhǎng)等)。良品的外延片就要開始做電極(p極,n極),接下 ..
      led外延片的生產(chǎn)制作過程是非常復(fù)雜,展完外延片,接下來就在每張外延片隨意抽取九點(diǎn)做測(cè)試,符合要求的就是良品,其它為不良品(電壓偏差很大,波長(zhǎng)偏短或偏長(zhǎng)等)。良品的外延片就要開始做電極(p極,n極),接下來就用激光切割外延片,然后百分百分撿,根據(jù)不同的電壓,波長(zhǎng),亮度進(jìn)行全自動(dòng)化分檢,也就是形成led晶片(方片)。然后還要進(jìn)行目測(cè),把有一點(diǎn)缺陷或者電極有磨損的,分撿出來,這些就是后面的散晶。此時(shí)在藍(lán)膜上有不符合正常出貨要求的晶片,也就自然成了邊片或毛 片等。不良品的外延片(主要是有一些參數(shù)不符合要求),就不用來做方片,就直接做電極(p極,n極),也不做分檢了,也就是目前市場(chǎng)上的led大圓片。
      半導(dǎo)體制造商主要用拋光si片(pw)和外延si片作為ic的原材料。20世紀(jì)80年代早期開始使用外延片,它具有標(biāo)準(zhǔn)pw所不具有的某些電學(xué)特性并消除了許多在晶體生長(zhǎng)和其后的晶片加工中所引入的表面/近表面缺陷。 
    外延產(chǎn)品
      外延產(chǎn)品應(yīng)用于4個(gè)方面,cmos互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體支持了要求小器件尺寸的前沿工藝。cmos產(chǎn)品是外延片的最大應(yīng)用領(lǐng)域,并被ic制造商用于不可恢復(fù)器件工藝,包括微處理器和邏輯芯片以及存儲(chǔ)器應(yīng)用方面的閃速存儲(chǔ)器和dram(動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器)。分立半導(dǎo)體用于制造要求具有精密si特性的元件!捌娈悺(exotic)半導(dǎo)體類包含一些特種產(chǎn)品,它們要用非si材料,其中許多要用化合物半導(dǎo)體材料并入外延層中。掩埋層半導(dǎo)體利用雙極晶體管元件內(nèi)重?fù)诫s區(qū)進(jìn)行物理隔離,這也是在外延加工中沉積的。 
    led外延片--襯底材料
      襯底材料是半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展的基石。不同的襯底材料,需要不同的外延生長(zhǎng)技術(shù)、芯片加工技術(shù)和器件封裝技術(shù),襯底材料決定了半導(dǎo)體照明技術(shù)的發(fā)展路線。襯底材料的選擇主要取決于以下11個(gè)方面:
    1、結(jié)構(gòu)特性好,外延材料與襯底的晶體結(jié)構(gòu)相同或相近、晶格常數(shù)失配度小、結(jié)晶性能好、缺陷密度小   
    2、界面特性好,有利于外延材料成核且黏附性強(qiáng)   
    3、化學(xué)穩(wěn)定性好,在外延生長(zhǎng)的溫度和氣氛中不容易分解和腐蝕   
    4、熱學(xué)性能好,包括導(dǎo)熱性好和熱失配度小   
    5、導(dǎo)電性好,能制成上下結(jié)構(gòu) 
    6、光學(xué)性能好,制作的器件所發(fā)出的光被襯底吸收小   
    7、機(jī)械性能好,器件容易加工,包括減薄、拋光和切割等   
    8、價(jià)格低廉。   
    9、大尺寸,一般要求直徑不小于2英吋。   
    10、容易得到規(guī)則形狀襯底(除非有其他特殊要求),與外延設(shè)備托盤孔相似的襯底形狀才不容易形成不規(guī)則渦流,以至于影響外延質(zhì)量。   
    11、在不影響外延質(zhì)量的前提下,襯底的可加工性盡量滿足后續(xù)芯片和封裝加工工藝要求。
    led外延片的襯底材料考慮的因素:   
    1、襯底與外延膜的結(jié)構(gòu)匹配:外延材料與襯底材料的晶體結(jié)構(gòu)相同或相近、晶格常數(shù)失配小、結(jié)晶性能好、缺陷密度低;   
    2、襯底與外延膜的熱膨脹系數(shù)匹配:熱膨脹系數(shù)的匹配非常重要,外延膜與襯底材料在熱膨脹系數(shù)上相差過大不僅可能使外延膜質(zhì)量下降,還會(huì)在器件工作過程中,由于發(fā)熱而造成器件的損壞;   
    3、襯底與外延膜的化學(xué)穩(wěn)定性匹配:襯底材料要有好的化學(xué)穩(wěn)定性,在外延生長(zhǎng)的溫度和氣氛中不易分解和腐蝕,不能因?yàn)榕c外延膜的化學(xué)反應(yīng)使外延膜質(zhì)量下降;   
    4、材料制備的難易程度及成本的高低:考慮到產(chǎn)業(yè)化發(fā)展的需要,襯底材料的制備要求簡(jiǎn)潔,成本不宜很高。襯底尺寸一般不小于2英寸。
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