引言
在万瓦级光纤激光器的窗口镜加工中，我们曾发现一个诡异现象：经传统研磨抛光的蓝宝石元件，在实验室检测时面型精度达标（PV≤λ/10@1064nm），但装机后运行不足50小时即出现微裂纹扩散，最终导致透镜崩边。经FIB-SEM断层分析，根源在于亚表面损伤层（SSD）的应力累积。
SSD的形成机制
机械加工残留：金刚石砂轮研磨时，蓝宝石表面会形成约3-5μm的塑性变形层，内部存在位错网络与微裂纹（
主题：蓝宝石元件加工之困：亚表面损伤(SSD)对高能激光系统的致命影响
和宸晶体科技发表于 2025-02-04 12:14