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大口径高精度斐索干涉仪球面参考镜设计.PDF，需要的下载！
摘要：设计了一款口径为30.48cm高精度斐索激光干涉仪参考镜， 其犉数为0.82， 参考面半径为224.99mm。所设计的参考镜其透射波前峰谷值为0.095λ， 均方根值为0.028λ， 透射波前斜率最大值为11μrad 。理论分析了参考镜的回程误差对面形检测精度的影响， 其最大值为0.29nm。 利用Zemax光学设计软件对参考镜进行了仿真分析， 仿真与实验结果表明， 该标准镜头可满足精度1nm的元件面形检测需求。