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先进制造方法推动高性能光子探测器技术进步
回帖:制造过程首先通过离子束辅助沉积(IBD)在硅晶片上涂覆六层或八层交替的二氧化硅(SiO2)和氧化钽(Ta2O5)来创建光学微腔,形成底部分布式布拉格反射器,然后添加SiO2缺陷层。
13115253153
回帖于2025-02-16 23:35
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:先进制造方法推动高性能光子探测器技术进步
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wangjin001x
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