求助大神，LED芯片背鍍DBR高反膜，同樣的膜系，不同的光馳新舊機(jī)臺(tái)作業(yè)后亮度有差異，到底是什么造成的？？

DBR是什么意思��？你做的高反膜是用的啥膜料？

奔跑的小駿馬:DBR是什么意思�。磕阕龅母叻茨な怯玫纳赌ち�？ (2018-01-29 09:51)  IH0^*f  

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氧化硅和氧化鈦

有試著量測(cè)表面粗糙度嗎(使用AFM之類的) }R'oAE}$  

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若有差異，可能要比對(duì)一下背景壓力、鍍率等等 - |'wDf?H  
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奔跑的小駿馬:DBR是什么意思��？你做的高反膜是用的啥膜料？ (2018-01-29 09:51)  :Mk}Suf&H  

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鍍膜的DBR就是介電質(zhì)的反射鏡 68*{Lo?U  
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主要利用高低折射率1/4波長(zhǎng)去堆疊而成 &?nF';&  
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會(huì)依照每個(gè)客戶針對(duì)的波長(zhǎng)去做設(shè)計(jì) \YS?}! 0  
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可應(yīng)用在LED 激光 等等

懷疑是排氣能力差異。 &?6w2[}  
開鍍真空一樣嗎？都開充氧了嗎？充氧壓力多少？

好的，謝謝～

開鍍真空一樣，充氧壓力為1.93E-2Pa

如果有空的話，兩臺(tái)機(jī)各鍍一下單層，然后測(cè)一下PEAK比對(duì)一下。 ? M_SNv  
一般SiO2折射率比較穩(wěn)定，既然有充氧，吸收也不太會(huì)有問題。 f"N3;,Oc  
問題很可能出在TiO2上。TiO2的折射率和吸收不太穩(wěn)定。 [)>8z8'f  

ouyuu:如果有空的話，兩臺(tái)機(jī)各鍍一下單層，然后測(cè)一下PEAK比對(duì)一下。 |