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    [求助]關(guān)于磁控濺射薄膜表面的平整度? [復制鏈接]

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    離線mainbomb
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2006-12-11
    一般的磁控濺射儀器對薄膜的表面能達到什么量級的平整度? ,l_n:H+"F