摘要 v[7iWBqJ c*m7'\ VirtualLab可用于分析任意
光柵類型。斜光柵在復(fù)雜
光學(xué)系統(tǒng)中已經(jīng)可以實(shí)現(xiàn),并且其重要性在提高。斜光柵通過特殊光學(xué)介質(zhì)實(shí)現(xiàn),以此定義其一般性的幾何
結(jié)構(gòu)。而且,幾個(gè)高級(jí)規(guī)格選項(xiàng)可用,例如,添加一個(gè)完整和部分涂層。這個(gè)案例解釋了配置的可用選項(xiàng),并且討論了其對(duì)光柵結(jié)構(gòu)的影響。
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xmM!SY> 9mmkFaBQ 介質(zhì)目錄中的斜光柵介質(zhì) $yn7XonS *XU2%"Sc
=%)Y,
)" S|jE1v"L 內(nèi)置斜光柵介質(zhì)可以在VirtualLab的嵌入的介質(zhì)目錄中找到。
yjF;%A/0 可用于設(shè)置復(fù)雜光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)(所謂的堆棧)和傅里葉模式法(FMM)分析。
icrcP ~$A $q|-9B 斜光柵介質(zhì)的編輯對(duì)話框 2iWSk6%R h&|S*
Yy 8?X9r. i-jrF6& 斜光柵介質(zhì)為周期性結(jié)構(gòu)自定義提供很多選項(xiàng)。
p{vGc-zP. 首先,光柵脊和槽的
材料必須在基礎(chǔ)
參數(shù)選項(xiàng)中定義。
*2T"lpl 這些材料既可以從材料目錄選擇,也可以通過
折射率定義。
hl/) 1sOIR 斜光柵介質(zhì)的編輯對(duì)話框 sk%Xf,
R9&3QRW|
=#Z+WD-E @zCp/fo3 在材料設(shè)置下面,可以定義光柵的幾何結(jié)構(gòu)。
c%+_~iBUN 以下參數(shù)可用:
ymW? <\AD, - 填充率(定義光柵的上部分和下部分)
e0$.|+ - z擴(kuò)展(沿著z方向測(cè)量光柵高度)
Dq~\U&U\$ - 傾斜
角度左(脊左側(cè)的傾斜角)
v[2N- - 傾斜角度右(脊右側(cè)的傾斜角)
`DFo:w!k <-h[I&." 如果傾斜角相同,通過點(diǎn)擊不等號(hào)關(guān)聯(lián)兩個(gè)設(shè)置。
D#k ~lEPub $~,J8?)(z 斜光柵介質(zhì)的編輯對(duì)話框 h}U>K4BJ *-';ycOvr
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