離子源的Beam ，ACC，RF和RFN之間有什么聯(lián)系以及它們各自的名稱和作用

頂一下，同問這個問題

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離子輔助沉積 t]gZ^5  

光弛原理和新柯隆差不多。 Y~TD)c=  
Talmc|h  
就新柯隆來講：三片柵網(wǎng)，從下到上為ACC，SUP，GND H|)F-aL[  
ACC加1000V左右電壓，離子從放電室（石英碗）擠出之后，靠ACC獲得初速度。 I3qTSX-  
SUP加-300-700V左右電壓，防止電子進入放電室。 ctOBV  
GND就是接地，并起到保護SUP電極的作用。（東西掉在柵網(wǎng)上不會造成短路，打火） P9 w);jp;  
N T>[ 2<  
中和器T腳加1000V脈沖打火，電子足夠多后發(fā)生電離連鎖反應(yīng)。 Nn#;Kjul.  
然后K腳（陰極產(chǎn)生電子）和A腳（陽極拉出電子）加上電壓，通過調(diào)節(jié)A腳電壓調(diào)節(jié)電子數(shù)量。

射頻沒啥好講的，就是產(chǎn)生一個震蕩的電磁場，讓帶電顆粒受電磁場影響不斷在放電室震蕩。 ;#bDz}|\AN  
帶電顆粒震蕩時有更大的幾率碰撞到氣體分子，使其電離，這樣連鎖反應(yīng)就產(chǎn)生了。

感謝大佬分享 SM8f"H28