最近在鍍膜機(jī)上新裝了一臺(tái)晶振測(cè)膜儀，Inficon 074-186S XTM2 OM。總共用了2次，出現(xiàn)同樣的問(wèn)題，在開(kāi)始鍍膜的1分鐘內(nèi)，運(yùn)作正常，顯示屏顯示鍍膜的速率和膜厚，但不超過(guò)1分鐘，顯示屏上就會(huì)出現(xiàn)晶振片錯(cuò)誤的信息（crystall fail），同時(shí)真空室中晶振片的蓋子通過(guò)氣動(dòng)自動(dòng)蓋上。如果我再?gòu)男聠?dòng)一下膜厚儀，又可以工作，大概也還是1分鐘左右的時(shí)間，又會(huì)出現(xiàn)象上面同樣的錯(cuò)誤，真的不知道問(wèn)題出在哪里？？？ n~Lt\K:
還有1個(gè)就是Z系數(shù)的值，因?yàn)槲义兊氖荂r膜，跟著膜厚儀過(guò)來(lái)的使用說(shuō)明書(shū)里附的表格說(shuō)對(duì)于鍍Cr設(shè)定的Z-Ratio值是0，305。 但我上次從一個(gè)論壇里看到一位大俠說(shuō)一般鍍單層膜在膜厚不超過(guò)1000nm時(shí)，Z-Ratio設(shè)置為1。我也不知道哪個(gè)對(duì)。 J] r^W)O
寫(xiě)的比較羅嗦，呵呵。 7F.4Ga;
急盼解答，先謝過(guò)�。。�
