隨著非球面的廣泛應(yīng)用,非球面的檢測(cè)也顯得尤為重要。本文針對(duì)多種類(lèi)型的非球面鏡開(kāi)展其檢測(cè)方法的研究,如離軸凸拋物面,離軸凹拋物面,離軸凸雙曲面,離軸凹雙曲面,離軸凸橢球面,離軸凹橢球面。主要通過(guò)無(wú)像差點(diǎn)檢驗(yàn)和補(bǔ)償法檢驗(yàn)對(duì)不同的類(lèi)型的非球面的檢測(cè)方法進(jìn)行研究,并使檢測(cè)方案滿(mǎn)足目前采用的ZYGO干涉檢測(cè)或4D干涉檢測(cè)。 -k19BDJ,W