薄膜對(duì)光有反射，透過(guò)，吸收，散射等作用。 3,G|oR{D  
薄膜發(fā)霧（對(duì)于因?yàn)榛�板本身臟或者帶電吸附粉塵等問(wèn)題此處略過(guò)）一般是因?yàn)樯⑸洹?span style="display:none"> Lc
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散射一般分為：瑞利散射，米氏散射，幾何光學(xué)近似 Ji,;ri2
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散射發(fā)生的位置一般分為：表面（和空氣接觸面），界面（層與層的過(guò)渡面），粒子（結(jié)晶） feB 
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表面和界面發(fā)生的散射一般是因?yàn)檎婵斩冗^(guò)低造成的，適當(dāng)提高真空度可以改善。 PtUS7[]  
界面的散射還可以提高離子源能量（用離子源將表面打平）來(lái)改善。 PO'K?hVS^w  
結(jié)晶造成的散射，則需要靠改變溫度來(lái)調(diào)整結(jié)晶大小。 r]xN&Ne5Q  
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具體問(wèn)題具體分析，這個(gè)需要自己來(lái)判斷。其實(shí)解決問(wèn)題的過(guò)程，也是自我學(xué)習(xí)自我提高的過(guò)程。

學(xué)習(xí)了

很實(shí)用的東西，學(xué)習(xí)了

王工，關(guān)于發(fā)霧，有兩個(gè)問(wèn)題搞不明白， vsA/iH.  
1、做離子源透亮產(chǎn)品，有時(shí)會(huì)遇到內(nèi)圈霧，外圈亮的狀況，很難說(shuō)清楚是怎么回事，離子源參數(shù)已經(jīng)調(diào)到最大，溫度差異也不大，10度以?xún)?nèi)，有時(shí)真空度都調(diào)到了8.0E-4Pa,都改善不大； _iqaKYT$  
2、離子源發(fā)霧工藝，最外圈會(huì)出現(xiàn)一般霧一半不霧的情況，下半部分更透亮，這種情況一直都在，有時(shí)輕有時(shí)嚴(yán)重，調(diào)過(guò)很多次，徹底解決不了。 A$P Oc<  
麻煩您幫忙給分析下，對(duì)了，機(jī)器是新柯隆1350

離子源能量大了也會(huì)發(fā)霧的。 (w<llb`]  
另外，你們用的是原裝離子源配件吧？ =':SOO7  
副廠件不光是壽命，離子分布的均勻性也有問(wèn)題。 -Y"2c,~pH  
（原廠柵網(wǎng)在出廠前會(huì)測(cè)離子分布，然后根據(jù)分布再開(kāi)預(yù)備孔） KpQ@cc  
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溫度不光是加熱絲的加熱溫度，離子源轟擊其實(shí)對(duì)鏡片也有加熱作用的。 a}k5[)et  
我覺(jué)得你們是否離子源能量加的太大了。 oBPm^ob4  
還有，中和器電流一般要設(shè)到離子源電流的2倍。 0w2<2grQ  
中和器電流過(guò)小也會(huì)造成離子分布的不均勻。

非常感謝您的解析！ k#5Qwxu`  
問(wèn)題出現(xiàn)時(shí)，我們一直使用買(mǎi)機(jī)器時(shí)所帶柵網(wǎng)。 z_$F)*PL  
一般在我們印象中，能量小才霧，能量越大越亮，不過(guò)接下來(lái)降低離子源能量我也會(huì)去嘗試下，看看能不能解決。 a0wpsl iF  
對(duì)于最后您說(shuō)的中和器電流要設(shè)置到離子源電流的2倍，可中和器電流有設(shè)限，最大是2000mA,而離子源電壓和電流最大是1200V和1200mA,如果離子源電流設(shè)置成1100或者1200，中和器電流相對(duì)不就也小了嗎？為了與之相對(duì)應(yīng)，調(diào)高中和器電流可行嗎？

還有，你們離子源柵網(wǎng)用了多久了。 1|7tq  
是否有變形？如果三塊柵網(wǎng)的孔對(duì)不到一起的話， l.SoiFDd  
離子束實(shí)際輸出就會(huì)變少。 Q,>]f@m  
一般照國(guó)內(nèi)的打磨水平，兩年左右就該換了。

順便說(shuō)一下，離子源柵網(wǎng)可以找我買(mǎi)。 Up1e4mNL  
我和新柯隆有服務(wù)協(xié)議，拿得到比較優(yōu)惠的價(jià)格。 @t#Ju1Y  
IKeO&]k  
一般設(shè)備都會(huì)配兩套柵網(wǎng)，你看一下另一套是否好一點(diǎn)。 rhwjsC6  
另外柵網(wǎng)不要混用，孔都是一套一起開(kāi)的，混用會(huì)有匹配問(wèn)題。

ouyuu:順便說(shuō)一下，離子源柵網(wǎng)可以找我買(mǎi)。 J)P7QTC  
我和新柯隆有服務(wù)協(xié)議，拿得到比較優(yōu)惠的價(jià)格。
一般設(shè)備都會(huì)配兩套柵網(wǎng)，你看一下另一套是否好一點(diǎn)。 ?
OVje9  
另外柵網(wǎng)不要混用，孔都是一套一起開(kāi)的，混用會(huì)有匹配問(wèn)題。 (2018-11-21 14:29)  f}w_]l#[G  

X \qG WpN%  
  已經(jīng)買(mǎi)了，你來(lái)過(guò)我們這里做過(guò)改造的，和吳經(jīng)理一起，只是當(dāng)時(shí)沒(méi)留下聯(lián)系方式

你們是老吳的客戶(hù)的話，我不能做的。 V{n7KhN~Y!  
技術(shù)上有問(wèn)題的話可以問(wèn)我，這個(gè)沒(méi)關(guān)系的。 % !Ih=DZ  
I*H($ a  
老吳在鍍膜公司做了十幾年機(jī)修，然后在新柯隆做了兩年組裝， puox^  
機(jī)械結(jié)構(gòu)方面他比我厲害。