問題描述:如何在
Zemax軟件中正確輸入ZYGO干涉儀的檢測到的面形
參數(shù)。
${+ @gJ+S Xua+cVc\y 通過某些檢測手段或者檢測技術(shù),可以得到以ZYGO干涉儀中的36項(xiàng)zernike fringe系數(shù)進(jìn)行表征(Z1-Z36),如下圖所示。
gfsI6/Y ld3-C55 +SsK21f"r O?U'!o= 那么對(duì)于下面這個(gè)反射式
光學(xué)系統(tǒng),中的某面,如何把這個(gè)面形誤差添加進(jìn)去呢?
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