摘要 3S21DC
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通常，計算模型中假設的理想化結果明顯偏離現實。 其中一個例子是在蝕刻結構中具有尖銳邊界的微結構的設計：制造技術不能實現完美的銳利壁，而是產生更圓的邊緣。 該可編程模塊應用于所設計結構的銳利結果，根據用戶指定的值對其邊緣進行圓整，以便分析更真實的結構。 $CV'p/^En  
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用于平滑結構邊緣的可編程模塊 nf^k3QS\  
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提示：模塊的輸入與輸出是“DataArray（數據數組）”類型。您可通過查看附帶的樣本文件得到全部代碼。 !S}Au Mw