學到了知識呀，論壇就是好

溫度三百度? 沒用IAD嗎?

如果250度是標定過的溫度，脫膜有可能：1 表面清潔不好；2，返油，真空度不好；3，鍍制速率；4，膜層應力不匹配。 %]&$VVVh  
檢驗膜的牢固度：一般擦拭即可；按標準，則需用膠帶粘拉。 ;W|NG3_y  

學到了知識呀，論壇就是好哇

離子源清洗，和倉體潔凈度

溫度應該夠了，看看你的材料參數(shù)有沒有問題！估計你是沒有離子源的設備，所以不考慮離子源問題！

yangyangyang:看來大家用的油擴散泵比較多，怪不得一爐要那么久。 " !EnQB=  
如果我和你們說我現(xiàn)在一爐40分鐘，你們誰信，哈哈。 o0R?vnA=  
你的問題在于以下幾點： ,-e}Xw9  
1，腔室的潔凈做好沒有？ OS,!`8cw  
2，離子源的轟擊時間多少？ /^.S nqk  
....... (2014-06-17 20:01)  !l $d^y345  

:'DyZy2Fd  
40分鐘一爐，看做什么膜系吧。我用日本昭和的機器，雙面AR，全部鍍完，56分鐘。

學習學習