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Zemax光學設(shè)計從入門到精通	Zemax光學設(shè)計從基礎(chǔ)到實踐	成像衍射光學元件設(shè)計及應(yīng)用	現(xiàn)代光學與光子學技術(shù)
訊技光電:VirtualLab Fusion獨家供應(yīng)商	微小光學與微透鏡陣列	光學設(shè)計與光學元件	計算光學帶來的成像革命

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[求助]微透鏡陣列勻光 [復(fù)制鏈接]

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離線李琦

技術(shù)員

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2019-04-13

關(guān)鍵詞：透鏡陣列

目的是對CMOS的參數(shù)進行測試，所以需要均勻光。我用的是成像型微透鏡陣列對深紫外光進行勻光處理，這是我的光路圖和勻光效果圖。所用的探測器像元大小是5.5μm×5.5μm。均勻度要求是99%。請問大家接下來需要怎么優(yōu)化才能滿足要求》？謝謝大家！