摘自User's Manual 10.3.1.3節(jié)
~dS15E4-Pp 波前方差是像質(zhì)的有用度量,VARIANCE命令可以計算方差、
標準偏差、X和Y中的圖像點。后兩個量給出了參考球面中心的位置,在該位置方差被最小化,如果該分析是多色的,從所請求的色差或主色差的主要
光線點測量。這是對
衍射圖樣的峰值位置的一個有用的近似,只要OPD誤差小于一個
波長。對于畸變非常重要的
透鏡,比如顯微光刻
物鏡,我們希望控制這個位置,而不是僅僅控制主光線截距的位置——這是校正畸變的一個更常見的目標。本節(jié)描述的
像差允許我們這樣做。格式是:
)Fx]LeI; M TAR WT A { ICOL /P / M } WVAR HBAR GBAR NRYS
r;{$x M TAR WT A { ICOL /P / M } WSTD HBAR GBAR NRYS
O}i+1 M TAR WT A { ICOL /P / M } YIP HBAR GBAR NRYS
Ao\P|K9MyL M TAR WT A { ICOL /P / M } XIP HBAR GBAR NRYS
sJL