摘要：將基于微光機電系統(tǒng)的微鏡陣列與傾斜反射鏡相結(jié)合，構(gòu)建應用于中紅外波段的微型化便攜式 傅里葉變換光譜儀．在闡述了該光譜儀工作原理的基礎上，通過對微鏡衍射特性分析，提出了信號采集 系統(tǒng)光路設計要求，并結(jié)合ZEMAX軟件進行了光學設計與仿真，結(jié)果表明：在2.5~3.5μm波長范圍 內(nèi)，保證微鏡選通列與非選通列間反射光互不干擾的情況下，本文所設計的信號采集系統(tǒng)可將80%以 上的干涉信號會聚到5mmx5mm的單點探測器中。 rS|nO_9