morningtech:如果測(cè)量和反演沒大的問題，可考慮致密度大于100%。 kL|\wci  
離子濺射，伴隨反應(yīng)過程，氧鉆入膜層反應(yīng)，化合物來不及遷移，可能會(huì)帶來致密度比體材料還大。 n[|6khOL-  
這點(diǎn)可以通過高溫退火（烘烤）來觀察。退火后，會(huì)測(cè)量到折射率下降，可伴隨厚度增加。
膜林科技，專業(yè)的光學(xué)真空鍍膜膜厚控制系統(tǒng) .. (2019-08-13 10:55)  xWDR726  

morningtech:如果測(cè)量和反演沒大的問題，可考慮致密度大于100%。 g5Hr7Km  
離子濺射，伴隨反應(yīng)過程，氧鉆入膜層反應(yīng)，化合物來不及遷移，可能會(huì)帶來致密度比體材料還大。 R&*@@F-dx  
這點(diǎn)可以通過高溫退火（烘烤）來觀察。退火后，會(huì)測(cè)量到折射率下降，可伴隨厚度增加。
膜林科技，專業(yè)的光學(xué)真空鍍膜膜厚控制系統(tǒng) .. (2019-08-13 10:55)  t"|DWC*