morningtech:如果測(cè)量和反演沒大的問題，可考慮致密度大于100%。 "]kq,j^]  
離子濺射，伴隨反應(yīng)過程，氧鉆入膜層反應(yīng)，化合物來(lái)不及遷移，可能會(huì)帶來(lái)致密度比體材料還大。 i7|sVz=  
這點(diǎn)可以通過高溫退火（烘烤）來(lái)觀察。退火后，會(huì)測(cè)量到折射率下降，可伴隨厚度增加。
膜林科技，專業(yè)的光學(xué)真空鍍膜膜厚控制系統(tǒng) .. (2019-08-13 10:55)  me
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morningtech:如果測(cè)量和反演沒大的問題，可考慮致密度大于100%。 U%H6jVE  
離子濺射，伴隨反應(yīng)過程，氧鉆入膜層反應(yīng)，化合物來(lái)不及遷移，可能會(huì)帶來(lái)致密度比體材料還大。 3Ued>8Gv  
這點(diǎn)可以通過高溫退火（烘烤）來(lái)觀察。退火后，會(huì)測(cè)量到折射率下降，可伴隨厚度增加。
膜林科技，專業(yè)的光學(xué)真空鍍膜膜厚控制系統(tǒng) .. (2019-08-13 10:55)  1b`WzoJgH