摘要：針對目前國內(nèi)自主研制的激光位移傳感器精度低，測量范圍小等問題，提出了一種采用光學設計軟件預先仿真整個激光位移傳感器光學系統(tǒng)的方法。在分析系統(tǒng)各部分的光學特性的基礎上，結合具體要求設計了一個激光位移傳感器的光學系統(tǒng)，其工作范圍為( 50 ±10) mm。采用系統(tǒng)分割的方法，將整個光學系統(tǒng)分為兩部分進行設計，第一部分是激光束的整形透鏡，要求在有效的工作范圍內(nèi)得到小而均勻的出射光斑，設計結果表明，在測量范圍內(nèi)，光斑大小能夠控 制在10-1mm量級；另一部分是被測面散射光接收的成像物鏡，該系統(tǒng)的特點是物面和像面相對于光軸都有一定的角度，實驗結果表明其成像滿足Scheimpflug條件。 xx/DD%IZ
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關鍵詞：激光位移傳感器；激光三角法；整形鏡；成像透鏡；光學設計
