在半導(dǎo)體制造中，光刻是最重要的一個環(huán)節(jié)，同時也是決定半導(dǎo)體工藝水平的關(guān)鍵，高端芯片要光刻多次，占到了制造成本的三分之一，目前全球的光刻機(jī)主要壟斷在荷蘭ASML、日本佳能、尼康手里。
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