摘要
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干涉測量法是一項用于光學測量的重要技術(shù)。它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓、缺陷、機械和熱變形的高精度測量。作為一個典型示例，在非序列場追跡技術(shù)的幫助下，于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的馬赫-澤德干涉儀。該例證明了光學元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。 Fw{:fFZC[  
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建模任務(wù) ]S  
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由于組件傾斜引起的干涉條紋 Aj{c s  
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由于偏移傾斜引起的干涉條紋 I%|,KWM  
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文件信息 1fH2obI~X  
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