近期，中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所精密光學(xué)制造與檢測中心研究團隊在光學(xué)元件表面中頻誤差創(chuàng)成機制的研究中取得新進展。提出了分段路徑卷積模型和光順理論，成功定量預(yù)測加工導(dǎo)致的中頻誤差幅值和形貌分布。相關(guān)成果于3月13日發(fā)表在[Optics Express, 28, 8959-8973 (2020)]。 G*wW&R)  
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　　超精密加工技術(shù)是高功率激光、空間探測、對地偵查、納米光刻等領(lǐng)域的核心技術(shù)之一，是衡量一個國家高科技發(fā)展水平及潛力的重要標志。以計算機控制光學(xué)表面成形技術(shù)(CCOS)為代表的數(shù)字化子孔徑光學(xué)加工制造技術(shù)極大提高了光學(xué)元件加工的效率，然而CCOS技術(shù)不可避免地會造成“碎帶”誤差——中頻面形誤差，光學(xué)元件表面的中頻面形誤差是現(xiàn)代光學(xué)工程進一步發(fā)展的阻力。對于高功率激光系統(tǒng)來說，中頻誤差會導(dǎo)致焦斑拖尾和近場調(diào)制，損壞光學(xué)元件。成像系統(tǒng)中，中頻誤差會引起小角度散射，降低光束質(zhì)量和成像對比度。數(shù)字化子孔徑拋光技中頻誤差表征與抑制一直是國際光學(xué)加工領(lǐng)域研究的痛點和熱點問題，目前研究人員仍未掌握中頻誤差的創(chuàng)成規(guī)律，該類誤差只能等待加工后測量獲得，美國勞倫斯利佛摩爾國家實驗室（LLNL）研究國家點火裝置（NIF）的過程中提出了以功率譜特征曲線（PSD）表征中頻誤差，其主要思路是通過計算得出光學(xué)元件表面中頻誤差的PSD曲線，然后將其與特征PSD曲線比較，當光學(xué)元件表面中頻誤差的PSD曲線在特征曲線之上則為不合格，PSD曲線能夠準確測出不合格的頻段，但卻無法定位不合格頻段在元件表面的區(qū)域，從而不能確定性加工。 r)@&2b"q  
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