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摘要 C AN1 ~
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 g'2; /// e+<9Sh 7& 干涉測量法是一項用于光學(xué)測量的重要技術(shù)。它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓、缺陷、機械和熱變形的高精度測量。作為一個典型示例，在非序列場追跡技術(shù)的幫助下，于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的馬赫-澤德干涉儀。該例證明了光學(xué)元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。 FMWM :
'tjqfR 建模任務(wù) 1?Tj
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 4[Wwm $H&:R&Us 由于組件傾斜引起的干涉條紋 ::-*~CH)
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