想咨詢(xún)一下，以目前的鍍膜工藝水平，蒸鍍和濺射方法鍍制介質(zhì)膜，膜厚精度分別能到多少? 膜系總厚在100nm左右。 RA^6c
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求教，有人嗎

你要的精度指的是光學(xué)膜厚精度還是物理膜厚精度？ Jo'~
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物理膜厚精度由水晶片的精度決定，光學(xué)膜厚精度由光控的精度決定。

晶控能應(yīng)付常規(guī) 5%左右精度要求的膜系， 工藝好點(diǎn)，  2%~3%的也能應(yīng)付。 1$_|h@  
再提高，0.5%準(zhǔn)確度比較難了。 ?+_Y!*J2b  
鍍膜更重要的是重復(fù)性。

ouyuu:你要的精度指的是光學(xué)膜厚精度還是物理膜厚精度？ Y z],["*Q  
物理膜厚精度由水晶片的精度決定，光學(xué)膜厚精度由光控的精度決定。 (2020-03-20 16:40)  5Z_aN|Xn  

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謝謝！物理膜厚精度，

morningtech:晶控能應(yīng)付常規(guī) 5%左右精度要求的膜系， 工藝好點(diǎn)，  2%~3%的也能應(yīng)付。 ^ =RSoR  
再提高，0.5%準(zhǔn)確度比較難了。 ;Rd\yAG  
鍍膜更重要的是重復(fù)性。 (2020-03-20 19:47)  % ^&D,  

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明白了，謝謝！

alien21:謝謝！物理膜厚精度， (2020-03-21 09:56)  N3g?gb"Ex)  

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物理膜厚由水晶控制，一般是5%左右。 Zc57]