帶有kinoform透鏡的激光擴(kuò)束器
參考Donald Dilworth《Lens Design Automatic and quasi-autonomous computational methods and techniques》書第十七章
首先選擇工作目錄DBOOK文件夾:
kr/h^e |q>Mw-= i@6
/# !<)_ F RLE ! 鏡頭輸入文件起始點(diǎn)
ID KINOFORM BEAM SHAPER ! 鏡頭標(biāo)識
WA1 .6328 ! 定義單個波長,單位為um
UNI MM ! 透鏡單位為mm
OBG .35 1 ! 使用OBG指令聲明高斯光源,束腰半徑為0.35mm,孔徑大小為輸入光束的1/e**2點(diǎn)
1 TH 22 ! 表面1和表面2之間的距離為22mm;表面1必須在束腰位置
2 RD -2 TH 2 GTB S ! 定義表面2的半徑和厚度,以及玻璃類型為來自玻璃庫Schott的SF6
SF6
3 TH 20 ! 定義表面3的厚度
3 USS 16 ! 定義表面3為DOE面
CWAV .6328 ! 中心波長
HIN 1.7988 55 ! 感光膠的折射率和阿貝數(shù)
RNORM 1 !歸一化半徑
4 TH 2 GTB S ! 定義表面4的厚度,以及玻璃類型為來自玻璃庫Schott的SF6
SF6
4 USS 16 !定義表面4為DOE面
CWAV .6328 !中心波長
HIN 1.7988 55 !感光膠的折射率和阿貝數(shù)
RNORM 1 ! 歸一化半徑
5 CV 0 TH 50 !表面5的曲率為0,厚度為50mm
7 ! 定義表面6和表面7,且兩表面必須平坦且重合,因為它們是AFOCAL輸出
AFOCAL ! 設(shè)置系統(tǒng)無焦
END !結(jié)束鏡頭輸入文件
點(diǎn)擊PAD圖標(biāo)
![](http://m.lslt888.com/attachment/Mon_2003/8_314628_ed1cd7b4ee8cbd6.png?1)
或在CW窗口輸入SYNOPSYS AI>PAD,得到該
透鏡系統(tǒng)的二維圖,如圖1所示:
K|/a]I": 圖1 DOE激光束整形器的初始結(jié)構(gòu)
運(yùn)行優(yōu)化宏C17M2,代碼如下:
PANT ! 定義變量參數(shù)
RDR .001 !定義更小的起始增量為正常值的千分之一,因為光束非常;
VY 2 RAD !改變表面2的半徑
VLIST TH 3 ! 改變表面3的厚度
VY 3 G 26 ! 改變表面3的Y**2項系數(shù)G26
VY 3 G 27 ! 改變表面3的Y**4項系數(shù)G27
VY 3 G 28 !改變表面3的Y**6項系數(shù)G28
VY 3 G 29 !改變表面3的Y**8項系數(shù)G29
VY 4 G 26 ! 改變表面4的Y**2項系數(shù)G26
VY 4 G 27 !改變表面4的Y**4項系數(shù)G27
VY 4 G 28 !改變表面4的Y**6項系數(shù)G28
VY 4 G 29 ! 改變表面4的Y**8項系數(shù)G29
END ! 結(jié)束
Y^G3<.B
AANT ! 定義像差參數(shù)
AEC 1 1 1 !自動控制邊緣厚度,防止邊緣太薄,目標(biāo)值為1,權(quán)重為1,窗口為1
ACC 4 1 1 !自動控制元件中心厚度,防止中心厚度太厚,目標(biāo)值為4,權(quán)重為1,窗口為1
LUL 150 1 1 A TOTL ! 系統(tǒng)總長不超過150
M 5 1 A P YA 0 0 1 0 5 ! 0視場表面5的邊緣光線高度目標(biāo)值為5,權(quán)重為1;
M 0 1 A P FLUX 0 0 1 0 6 !0視場表面6上在Y方向高度為1時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .98 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.98時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .97 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.97時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .96 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.96時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .95 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.95時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .94 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.94時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .93 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.93時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .92 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.92時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .91 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.91時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .85 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.85時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .8 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.8時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .7 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.7時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .5 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.5時所對應(yīng)的光通量衰減為0
M 0 1 A P FLUX 0 0 .3 0 6 ! 0視場表面6上在Y方向高度為0.3時所對應(yīng)的光通量衰減為0
GSO 0 .1 10 P ! 控制弧矢面上10條光線產(chǎn)生的OPD像差
GSR 0 100 10 P !控制弧矢面光線網(wǎng)格中所產(chǎn)生的橫向光線像差
END ! 結(jié)束
SNAP !設(shè)置PAD圖更新頻率,每一次優(yōu)化更新一次
SYNO 40 !程序優(yōu)化次數(shù)為40次
然后點(diǎn)擊圖標(biāo)
![](http://m.lslt888.com/attachment/Mon_2003/8_314628_eded800f02e1e19.png?2)
進(jìn)行
模擬退火,具體參數(shù)設(shè)置為(22,1,50):
O
o:jP6r 得到優(yōu)化和模擬退火后的DOE光束整形器,如圖2所示:
E6gEP0b 圖2 優(yōu)化和模擬退火后的DOE光束整形器
CW窗口輸入SYNOPSYS AI>FLUX 100 P 6,然后點(diǎn)擊“Enter”鍵。得到光通量分布圖,光通量幾乎均勻。
n\YxRs7
hF FLUX 100 P 6 的含義:
數(shù)字100-追跡的光線數(shù)目
字母P-主波長
數(shù)字6-表面6
Ss:,#| 現(xiàn)在問題是:表面4的空間頻率是多少?
如果它太高,在制作技術(shù)上可能存在難度。
現(xiàn)在分析表面4的空間頻率。在CW中輸入MMA,打開MMA對話框進(jìn)行如下圖,并得到空間頻率圖:
![](http://m.lslt888.com/attachment/thumb/Mon_2003/8_314628_0cd6219f7cef344.png?273)
CvJm7c 需要降低表面4的空間頻率,在PANT中添加VY 5 RAD;同時在AANT中添加M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4;
然后點(diǎn)擊Run按鈕運(yùn)行,得到鏡頭結(jié)構(gòu)如下圖所示:
m0,9yY::wj 6.jZy~
在CW中輸入DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE 得到表面3的光束強(qiáng)度分布圖;
在CW中輸入DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE 得到表面6的光束強(qiáng)度分布圖;
其中:
DPROP-衍射傳播
P-主色
第一個0- Y方向的0視場
第二個0- X方向的0視場
3-表面3 (6-表面6)
SURF-繪制一個波陣面透視圖,波陣面落在表面3(或表面6)的頂點(diǎn)平面上
3-曲面圖的高度
L-設(shè)定該曲面的視角為左視角
RESAMPLE-多重采樣
<j#EyGAV
得到表面3的光束強(qiáng)度分布圖(高斯分布)和表面6的光束強(qiáng)度分布圖(平頂分布):
![](http://m.lslt888.com/attachment/Mon_2003/8_314628_31da724c558e9f4.png?55)
5HN<*u%z