當(dāng)您想要表面的面型與（X，Y，Ｚ）坐標(biāo)（如：由數(shù)字化干涉圖產(chǎn)生的）相匹配時(shí)，SYNOPSYS可以計(jì)算曲面建模所需的系數(shù)。在程序中獲得的大部分表面面型都能夠匹配。（如果面型時(shí)旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的，您也可以用CSAG，輸入更簡(jiǎn)單）。

輸入是：

圖片:SFIT輸入.png

,x!r^YO=  

?U[6X|1  

必須在第二行輸入所需的面型以及表面編號(hào)。在這個(gè)輸入中，面型是下面的其中之一：

圖片:面型1.png

JZ![:$:  

!g6=/9  

這里給出22項(xiàng)冪級(jí)數(shù)多項(xiàng)式（R是軸向曲率半徑）：