SYNOPSYS中光柵表面輸入格式： 1D*e
u  
SN GRATING {X/Y} L/MM ORDER CWAV HIN VNUM wHAh6lm  
其中，X-衍射發(fā)生在X-Z平面；Y-衍射發(fā)生在Y－Z平面。Ｌ／ＭＭ－給出了光柵刻線數(shù)；ORDER-衍射級(jí)次；CWAV-波長(zhǎng)；HIN-基底折射率； 'aCnj8B  
VNUM-相應(yīng)的阿貝數(shù)； }x%"Oq|2]x  
c`i
Se$eS  
例子: o$Jk27  
RLE /aK },+  
ID GRATING_REAL FLAT i P/I% D  
WAVL .6000000 .5000000 .4000000 bk8IGhO|m!  
APS               1 ]03!KE  
POLARIZATION LINEAR Y  ztTpMj  
UNITS MM IlaH,J7n  
OBB  0.000000   10.00000    1.00000    0.00000    0.00000    0.00000    1.00000 rp _G.C  
  0 AIR \>\w-ty[(  
  1 GRA  Y       500.0000   -1       0.500000      1.500000     50.000000  Pg`^EJ+  
  2 COATING PERF 's e9|:  
  2 CV      0.0000000000000   TH  1.00000000E-06 9J>DLvl;  
  2 N1 1.51628919 N2 1.52140818 N3 1.53084089 B a