摘要 NiU2@zgl  
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可用于嚴格分析光柵效率。在VirtualLab Fusion中，可以設(shè)置光柵系統(tǒng)、執(zhí)行嚴格的分析、并以不同的格式分析結(jié)果（例如光柵階次匯集、單值等）。與參數(shù)運行結(jié)合使用，可以在給定的參數(shù)空間上進行掃描，以研究指定結(jié)構(gòu)在不同配置下的性能。 .y@oz7T5  
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圖片:1-20042G00011263.png

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傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA） iZaI_\"__  
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建模任務(wù) Il= W,/y  
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圖片:1-20042G00040528.png

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單次FMM仿真結(jié)果 *:L?#Bw  
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圖片:1-20042G00314295.png

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參數(shù)掃描（1D） @@8J6*y  
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圖片:1-20042G00241125.png

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#ZYVc|sT+  
參數(shù)掃描（2D） @>E2?CV  
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圖片:1-20042G0042K26.png

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文件信息 59O?_F9  
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圖片:1-20042G0045O57.png

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DR