作為
衍射光學(xué)領(lǐng)域廣泛使用的方法，薄元近似（TEA）在計(jì)算薄衍射元件的衍射效率時(shí)非常有效。 但在另一方面，當(dāng)衍射
光柵的周期小到可以與
波長(zhǎng)相比較時(shí)，這種近似將會(huì)變得不準(zhǔn)確。 我們選擇了兩種常用的透射光柵輪廓（正弦和閃耀），并應(yīng)用TEA和嚴(yán)格的FMM / RCWA進(jìn)行分析，用來(lái)比較兩種方法的結(jié)果。
D3D}DaEYj 8| @9{ 用于光柵建模的TEA與FMM
zF`3 gl. wM~H(=s`D 
我們同時(shí)使用TEA和FMM（也稱為RCWA）來(lái)分析兩種周期不同的光柵（正弦光柵和閃耀光柵），并比較了兩種方法的結(jié)果。
d%_OT0Ei _,haD)1g~ 閃耀光柵的傅里葉模態(tài)分析
(UL4+ta [;A[.&6 
在
VirtualLab Fusion中，傅里葉模態(tài)方法（FMM）可用于光柵效率的嚴(yán)格分析。
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