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q}uHFp/J 1.Horos—光學(xué)粗糙度傳感器。 /(I*,.d 2.測量樣本。 {MAQ/5 3.鉆石旋轉(zhuǎn)加工表面的測量結(jié)果。 NBh%:tu7M 4.Horos—光學(xué)材料粗糙度傳感器以及白光干涉儀測量結(jié)果比較 (樣本:1.-Mo/Si-鏡子,2-Ti-膜,3-鉆石旋轉(zhuǎn)法下Al-表面)。 TfxwVPX !;@_VWR 系統(tǒng)簡介 h<l1]h+x t-u|U(n 隨著光學(xué)技術(shù)不斷地發(fā)展,對于光學(xué)材料或光學(xué)薄膜的表面性能測量的需求也日益增多。horos傳感器可直接測量表面粗糙程度。它具有非接觸式測量,快速測量的特點。并且它的體積小便于移動。被測樣本的規(guī)格從機械零件到具有納米結(jié)構(gòu)的光學(xué)表面均可。 g3@Rl2yQJ =!Vf 特征及技術(shù)參數(shù) ?i\B^uB 0rk]/--FGJ - 可測量參數(shù):粗糙度相關(guān)一系列值 (例如PSD,傾斜度等等),3D下散射光分布,檢測是否各項同性等。 c9'
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