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1.Horos—光學(xué)粗糙度傳感器。 3 zp)!Q Ji 2.測量樣本。 GptJQ =pV 3.鉆石旋轉(zhuǎn)加工表面的測量結(jié)果。 Am%zEt$c 4.Horos—光學(xué)材料粗糙度傳感器以及白光干涉儀測量結(jié)果比較 （樣本：1.-Mo/Si-鏡子，2-Ti-膜，3-鉆石旋轉(zhuǎn)法下Al-表面）。 RtGETiA\b l.\Fr+*ej 系統(tǒng)簡介 CtV$lXxup
FEw51a+V 隨著光學(xué)技術(shù)不斷地發(fā)展，對于光學(xué)材料或光學(xué)薄膜的表面性能測量的需求也日益增多。horos傳感器可直接測量表面粗糙程度。它具有非接觸式測量，快速測量的特點(diǎn)。并且它的體積小便于移動(dòng)。被測樣本的規(guī)格從機(jī)械零件到具有納米結(jié)構(gòu)的光學(xué)表面均可。 EE#4,d`J nM34zVy 特征及技術(shù)參數(shù) +|).dm
Xz4!#,z/ - 可測量參數(shù)：粗糙度相關(guān)一系列值 （例如PSD，傾斜度等等），3D下散射光分布，檢測是否各項(xiàng)同性等。 m.EI("n"J - 靈敏度R_q<0.5 nm XL
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