摘要 ygd'Nh!@  
A&Ut:OiA  
在激光掃描系統(tǒng)中，F(xiàn)-Theta鏡頭通常被設(shè)計(jì)用于提供高性能。使用此類透鏡，在目標(biāo)平面上的聚焦點(diǎn)位移與焦距和掃描角度的產(chǎn)生成正比。這使得它們成為基于Galvo掃描器的激光材料處理系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。在VirtualLab Fusion中掃描源的幫助下，通過(guò)測(cè)量實(shí)際光斑位置與期望值之間的偏差和不同角度下光斑的大小，分析了給定F-Theta透鏡的性能。 X:j&+d2g0/  
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建模任務(wù) Z@t).$  
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性能評(píng)估——光斑直徑測(cè)量 '355P
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性能評(píng)估——光斑位置偏差 )fA9,yNJ3  
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走進(jìn)VirtualLab Fusion $B2* x$  
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[77]0V7  
VirtualLab Fusion的工作流程 f|m.v +7k  
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 從Zemax OpticStudio®導(dǎo)入透鏡系統(tǒng) \%mR*J+  
- 從Zemax導(dǎo)入光學(xué)系統(tǒng) [用例] :>F:G%(DK  
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 分析實(shí)際透鏡系統(tǒng)的成像性能 yXg783B|v  
- 分析高NA物鏡聚焦 [用例] 7EI(7:gOn  
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 利用參數(shù)運(yùn)行檢查不同參數(shù)的影響 A}t.`FLP,j  
- 參數(shù)運(yùn)行文檔的使用 [用例] IN ,@  
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VirtualLab Fusion技術(shù) sN5x\9U  
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文件信息 *h@nAB\3  
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