摘要：本文介紹一種使用激光多普勒位移測量儀，對數(shù)控機床進行體積誤差檢測的激光矢量測量新方法。該方法可以方便而快速的檢測出機床的體積定位精度，包括3個定位誤差、6個直線度誤差和3個垂直度誤差；同時還可以根據(jù)測量的體積定位誤差數(shù)據(jù)生成誤差補償?shù)拇a，進而可以對其進行體積定位誤差的補償，大幅度提高了數(shù)控機床加工精度。
X5i?B b. 關鍵詞：數(shù)控機床體積誤差 激光測量 補償
tA'O66. iX4?5yz~< 1 引言
Dizc#!IGU ST'M<G%4E 數(shù)控機床的體積定位精度包括線性位移誤差、直線度誤差、垂直度誤差、角偏和剛性誤差，這些誤差決定了數(shù)控機床的精度性能。對于現(xiàn)代的數(shù)控機床，在假設誤差是可重復的并可以測量的情況下[1、2]，通過軟件補償可以大大提高機床的精度性能。該方法的性能價格比較高是提高機床精度的一個較好的方法。
% D|p7& WK;X6` 數(shù)控機床由于其本身的運動比較復雜，因此其運動過程中產(chǎn)生的各種誤差相對來說也比較復雜。以三軸加工中心為例，有21項誤差元素，如圖1所示。目前所采用的測量方法很多，其中大多都是利用激光測量。傳統(tǒng)的方法對機床的體積定位精度的完整檢測非常復雜和耗時。鑒于上述原因，許多國際化標準組織推薦了一種沿體對角線進行測量的方法。所謂體對角線就是指在空間直角坐標系中，由機床工作臺三個進給方向上的最大行程所圍成的長方體的對角線。國際化標準組織推薦該法的主要原因是體對角線的測量對各種誤差元素非常敏感。但是該法的一個致命的缺陷是在測量過程中它無法獲得足夠的信息用于分離各誤差元素。
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圖1 21項誤差元素
本文介紹一種新的激光矢量測量方法—激光多步矢量法,利用激光多譜勒測量儀[3]進行多步的體對角線測量可以很容易地根據(jù)矢量原理測量出機床的各項誤差。這里應用該方法我們對一臺數(shù)控機床進行了檢測，再通過補償，提高了機床的精度。
6qfL-( G ?K9&ye_rgw 2 激光多步矢量法
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