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摘 要 Jn^b}bk t 'St6a* 斐索干涉儀是工業(yè)中常見的光學(xué)計(jì)量設(shè)備,它們通常用于光學(xué)表面質(zhì)量的高精度測試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡,我們構(gòu)建了一個菲索干涉儀,并利用它測試了不同的光學(xué)表面,例如圓柱形和球形。 可以看出,產(chǎn)生的干涉條紋對表面輪廓具有敏感性。 &:g:7l]g k`Ifl) 建模任務(wù) ')!X1A{ B Z|A&;
g&c ~grD / n_s"[I4 傾斜平面下的觀測條紋 Jr( =Y@Z' l>}f{az-T
nV7Vc; Mn(iAsg 圓柱面下的觀測條紋 O`c50yY itP`{[
Cl`i|cF\ !CWe1Dm 球面下的觀測條紋 q50F!yHC- RC/ 3\' s@ r{TXEn \O;2^ VirtualLab Fusion 視窗 (_zlCHB WN+i
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