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    [推薦]二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2020-08-10
    摘要 IHv[v*4:  
    S(*sw 0O@+  
    復(fù)雜光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM，或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面，用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀，從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。 x#xFh0CA  
     `3WFjU 5a  
    1. 本案例主要說明： \=ux atw  
     如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu)，通過： st:`y=F_  
    - 基于介質(zhì)的定義類型 a C\MJ9  
    - 基于表面的定義類型 MS 81sN\d  
     計算前如何改變高級選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。 @] DVD  
     注意：在VirtualLab中，具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此，層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。 PuA9X[=  
     i/`m`qdg  
    2. 光柵工具箱初始化 CFMo)"  
     初始化 _M`--.{\O[  
    - 開始→ J$GUB3 G  
    光柵→ d\|?-hY`[  
    一般光柵光路圖(3D光柵) Gi?/C&1T  
    ( u\._Gwsx  
     .*Ct bGw  
     注意：對于特殊類型的光柵，如柱狀光柵，可以直接選擇特定的光路圖。 =JK@z  
    >>t@}F)  
    3. 光柵結(jié)構(gòu)配置 j7$e28|_n  
     首先，必須先定義基底的厚度與材料 P3x= 8_#  
     在VirtualLab中，光柵結(jié)構(gòu)有一個所謂的堆棧進行定義 wsZF;8u