摘要
RKB--$ibj |O =Fz3) HMDQEd; 'Pyeb`AXE9 對(duì)于許多
光學(xué)應(yīng)用來(lái)說(shuō)需要減少表面反射。控制表面反射的一種非常有效的方法是使用抗反射的
納米或微米
結(jié)構(gòu),啟發(fā)來(lái)源于自然界(蛾眼)。這些具有亞
波長(zhǎng)范圍特征尺寸的結(jié)構(gòu)表現(xiàn)出關(guān)于波長(zhǎng)和
角度依賴(lài)性的獨(dú)特性質(zhì)。在本文中,介紹了VirtualLab Fusion中確定抗反射結(jié)構(gòu)的分析和設(shè)計(jì)。
J}a 8N.S 0].*eM 設(shè)計(jì)任務(wù)
s"G;rcS}# KFd !wZ@e =I.
b2e1z :wtr{,9rZ 如何
優(yōu)化抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的
參數(shù)?最小化空氣-PMMA界面的反射?
<7Igd6u doM}vh)6 掃描參數(shù)空間以獲取初始解
29#&q`J XoI,m8A Pt<lHfd G