摘要
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GOgT(.5 mAERZ<I 對(duì)于許多
光學(xué)應(yīng)用來(lái)說(shuō)需要減少表面反射。控制表面反射的一種非常有效的方法是使用抗反射的
納米或微米
結(jié)構(gòu),啟發(fā)來(lái)源于自然界(蛾眼)。這些具有亞
波長(zhǎng)范圍特征尺寸的結(jié)構(gòu)表現(xiàn)出關(guān)于波長(zhǎng)和
角度依賴性的獨(dú)特性質(zhì)。在本文中,介紹了VirtualLab Fusion中確定抗反射結(jié)構(gòu)的分析和設(shè)計(jì)。
lAt1Mq}?P P_Ja?)GT 設(shè)計(jì)任務(wù)
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i2c<q0u sX?7`n1U 如何
優(yōu)化抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的
參數(shù)?最小化空氣-PMMA界面的反射?
Rs`Y'_B ho=]'MS| 掃描參數(shù)空間以獲取初始解
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FN(d pNsLoNZ3w 初始解#1的參數(shù)優(yōu)化
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=1?yS3 xJ.!Q)[ 最終設(shè)計(jì)#1的性能分析
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T`G"2|ISS SuuS!U+i> 初始解#2的參數(shù)優(yōu)化
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