摘要 P-a8S*RRa  
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因?yàn)閮A斜光柵在特定衍射級中具有高效率，故通常被用于將光耦合到光學(xué)光波導(dǎo)中。 如今，它們經(jīng)常應(yīng)用于增強(qiáng)和混合現(xiàn)實(shí)應(yīng)用中。 本案將展示如何使用VirtualLab Fusion對文獻(xiàn)中的某些傾斜光柵的幾何形狀，具體參數(shù)如傾斜角度，填充因子和調(diào)制深度進(jìn)行分析。 此外，本案例還研究了不同入射角對衍射效率的影響。 u]Q}jqiq"  
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建模任務(wù) ZH|q#<{l  
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衍射效率與相對深度 0%Le*C'yk  
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在VirtualLab Fusion中通過傅里葉模態(tài)法（FMM）（也稱為RCWA）進(jìn)行仿真。 g^Hf^%3xP  
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