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摘要 Jmf&&)p
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l F-Theta鏡頭通常設(shè)計(jì)用于在激光掃描系統(tǒng)中以提高系統(tǒng)性能。利用這種透鏡，目標(biāo)平面上的聚焦光斑位移量與系統(tǒng)的焦距和掃描角度成比例。使其成為基于galvo-scanner激光材料處理系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。利用VirtualLab中的掃描光源，我們通過(guò)測(cè)量實(shí)際光斑位置和期望值之間的偏差以及不同角度的光斑尺寸來(lái)分析F-Theta鏡頭的性能。 pUY a1
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