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摘要 hTtp-e` 2-E71-J 掃描干涉法是實現表面高度測量的技術。通過利用白色光源的低相干性,只有當光程差在相干長度內,干涉圖案才會出現。因此,它使精確微觀測量成為可能。使用一個氙燈搭建了一個邁克耳孫干涉儀,用于測量具有平滑變化前表面的樣品。 \lbiz4^> zHs
ot+~|Dl 6% y) 建模任務 NdSxWrD`m uF3p1by
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